真空度停在中真空段的机组排查通报：前级段位核对、件级处置与成套配置口径
2026.11.06
按本公司近阶段真空机组接修与成套配机记录，报修描述为「真空度上不去」的工况中，主泵本体损坏并非多数。较常见的成因是压力停在中真空段、前级未把腔体送到分子泵的起抽门槛。本文按记录对这一类工况的分段测量顺序、失效归位、件级判据与复验结果作通报，并附跨段机组的配置核对口径。涉及客户信息、设备序列号、工单编号与配件规格数量的内容不予列示；所列压力值按产品样本与铭牌整理，属常见工况区间，逐台以实物为准。同栏目已通报的机型记录可参照案例展示栏目核对接修范围。
一、案例类型与记录边界
| 项目 | 记录 |
|---|---|
| 工况类型 | 高真空机组达到设定真空度的时间延长，或压力停在中间段位不再下降 |
| 涉及段位 | 粗真空 10⁵–10³ Pa 至高真空 10⁻¹–10⁻⁵ Pa |
| 常见在用配置 | 前级旋片泵或干泵、涡轮分子泵、皮拉尼规与电离规 |
| 报修描述 | 真空度抽不上去、抽到一半不动、怀疑主泵损坏 |
| 记录口径 | 按同类工况归纳，不指向单一工单 |
| 脱敏范围 | 客户信息、设备序列号、工单编号、配件规格与数量 |
此类报修的处置起点不是拆主泵，而是先分开测点。机组是一个压力段接一个压力段往下走的串联系统，任一段拖住，后面几段的读数会一起掉。把整套机组当成一台泵判断，容易把前级的件报成高真空段的事。
图 1 机组分段实拍：涡轮分子泵、前级旋片泵与顶部真空计控制器同框
二、到场状态与分段测点
进厂或到场后先不拆机，按测点记录四处读数，再做比对。
| 测点 | 典型读数区间 | 所属段位 | 先查项 |
|---|---|---|---|
| 前级泵出口 | 约 50 Pa 上下 | 中真空末端 | 阀片、旋片、油状态 |
| 分子泵入口 | 需降至 10⁻¹ Pa 以下方可起抽 | 高真空起点 | 前级抽速、交界密封 |
| 腔体测点 | 目标常在 10⁻⁴ Pa 以下 | 高真空段 | 漏率、规管量程 |
| 皮拉尼规读数 | 量程 10⁵ 至 10⁻¹ Pa | 粗中真空段 | 装错段位、油雾污染 |
大气压约 10⁵ Pa，低温泵样本标称压力可到 10⁻⁷ Pa，中间隔着十二个数量级。一台泵只覆盖其中两三格，跨段就得换机型。四段各自的件系、量具与拆装手法并不通用。
图 2 真空度分段标尺：横轴为以 Pa 计的压力，每格一个数量级，色块为常见泵型工作区间
量具本身也有段位。皮拉尼规靠气体导热测压，用于粗中真空段；再往下要换电离规。用皮拉尼规读 10⁻⁴ Pa，读数会一直贴在量程底端，看上去像主泵抽不动。
三、处置顺序：先分段测量，后拆机
处置顺序固定为四步：记录泵铭牌与规管型号 → 同一支规管先接前级出口量一次、再接腔体口量一次 → 比对两处差值落在哪一段 → 按该段位决定拆检范围。
两处差值所在的那一段，即为压力停住的位置。这一步不换件、不拆机，能排除掉一部分「主泵坏了」的判断。规管装错段位、接口微漏、规管被油雾污染三种情形，都会把读数压在低处，需在比对前先排除。
图 3 皮拉尼规管：用于粗中真空段，高真空段需换电离规
四、四段失效归位记录
按分段结果逐段归位，记录格式沿用车间现有的「现场可处置／需上台架」两栏。
| 段位 | 常见坏法 | 现场可处置 | 需上台架 |
|---|---|---|---|
| 粗抽 | 液环叶轮结垢、机械密封漏、工作液温高 | 换密封、清叶轮、校流量 | 叶轮与分配板间隙拆开量 |
| 中真空 | 旋片磨损、油乳化、轴封渗、转子涂层起皮 | 换旋片与油、测间隙、复相位 | 涂层附着力、同步齿轮侧隙 |
| 高真空 | 分子泵轴承异响、动平衡漂移、叶片积垢 | 换轴承、清洗转定子、做动平衡 | 叶片微裂需上台架 |
| 超高真空 | 低温泵降温慢、吸附剂饱和 | 换吸附剂、检氦压机、再生 | 冷头二级温区需拆测 |
粗抽段件单价低、更换快，高真空段件贵、判断慢。顺序反了，一次换件会拖成一次大修。粗抽段的设备可参照水环真空泵栏目核对工作液与冷却条件。
五、失效链与判定：主泵未到更换条件
以读数停在中真空段的一类机组为例，失效链可复原为：前级阀片贴合不严或轴封微渗 → 前级出口压力抬升 → 分子泵入口迟迟达不到起抽门槛 → 腔体读数停在半路 → 设备延长抽气时间，前级油温与磨耗同步上升。
并行路径在量具侧：皮拉尼规被装到超出量程的位置，读数贴在底端，进一步强化了「主泵抽不动」的印象。两条路径互为因果，同指向前级与量具，而非主泵本体。
据此判定：在压力停于中真空段的机组上，直接更换分子泵的结论不成立。主泵是链条末端被动显示异常的设备，在它读数异常之前，前级件与量具状态已偏离一段时间。只处理末端，复装后仍会在同一段位停住。
| 可继续运行 | 必须停机 |
|---|---|
| 抽到设定值的时间比基线慢不到一成；油色正常无乳化；前级出口与腔体口读数差稳定；分子泵电流与噪音无趋势变化 | 任一规管读数贴在量程底端不动；油发黑乳化或有酸味；分子泵启动电流异常、轴承异响；前级泵渗油冒油烟 |
四条可继续运行项需同时成立，先记数据再观察；必须停机项任一条成立即停机。段位交界处的腔体漏率、叶片微裂、涂层附着力等，现场判断不了，需上检漏台与拆解台量。
六、件级核对与更换判据
拆检后按部位逐项判定，判磨耗或损坏者更换，判污染者清洗复检后复用，不整套盲换。
| 部位 | 常规配置 | 磨耗或腐蚀工况 | 更换判据 |
|---|---|---|---|
| 旋片 | 碳素／树脂复合 | 耐蚀复合材质 | 厚度低于样本下限、边缘崩缺 |
| 密封圈 | 丁腈橡胶 | 氟橡胶／全氟醚 | 硬化、失去回弹、压缩残余变形 |
| 阀片 | 标准簧片 | 耐蚀簧片 | 贴合不严、关闭滞后 |
| 泵油 | 矿物油 | 合成酯／全氟聚醚 | 按酸值与乳化判定，不按运行小时 |
| 进气滤芯 | 常规滤材 | 抗粉尘、防冷凝 | 压差上升、抽速下降 |
| 真空计规管 | 皮拉尼规 | 电离规 | 读数贴量程底端、油雾污染 |
更换类别与判定依据逐项写入拆检记录交使用方确认；配件的规格、数量与料号不在对外通报中列示。件类入口可先参照真空泵配件与真空泵油栏目，再按本文的核对字段确认。
七、复装与连续运行验证
装配按出厂标准复位后进入测试台，模拟应用工况连续运行，逐项记录；任一项偏离即回拆复查，不放行。
| 验证项 | 判定内容 | 偏离处置 |
|---|---|---|
| 前级出口压力 | 是否回到起抽门槛以下 | 复核阀片与轴封 |
| 抽气到位时间 | 与基线偏差是否在一成内 | 回查漏率与油状态 |
| 分子泵电流与噪音 | 有无趋势性变化 | 上台架查轴承与动平衡 |
| 规管交叉比对 | 前级口与腔体口差值是否稳定 | 换规管复测 |
| 连续运行 | 48 小时无报警、无渗油、无油烟 | 回拆复查 |
八、跨段机组的成套配置口径
确需重新配机组时，段位表要再走一遍：前级抽速盖住主泵排气量，真空计覆盖目标段位，阀件与管路按同一口径选。只按一个「真空度」挑泵，装上去常停在半路。
| 配置项 | 核对字段 | 常见失误 |
|---|---|---|
| 前级泵 | 抽速、标称全压力、气镇开闭 | 只看标称压力，不看排气量 |
| 主泵 | 目标段位、法兰形式、前级匹配 | 跨段不配前级 |
| 测量件 | 规管量程与目标段位 | 用皮拉尼规读高真空 |
| 阀件与管路 | 通径、密封形式、过流件材质 | 口径相同但密封形式不匹配 |
| 交付范围 | 单泵、前级机组、测量件按段位配齐 | 分批到货导致接口不齐 |
单泵、前级机组与测量件按段位配齐交付，常用段位按系列备机，非标接口按图加工；报型号前需核铭牌、目标压力、介质、进气口径四项。相关整机可参照单级、双级真空泵、分子泵、真空系统、工程栏目先行核对段位，再按工况定配置。
九、在售系列对照与区域承接
| 段位 | 常见在用系列 | 核对要点 |
|---|---|---|
| 粗抽 | 2BV 液环、H150 与 2H 滑阀、R5 与 TXS 单级旋片 | 工作液、冷却、进气口径 |
| 中真空 | TDV 双级旋片、干式螺杆、单级多级爪式、TXSP 涡旋、增压罗茨 | 标称全压力、气镇开闭 |
| 高真空 | TXFB 涡轮分子泵、油扩散泵 | 前级抽速、法兰形式 |
| 超高真空 | CRYO-P 低温泵 | 前级配置、冷头、再生周期 |
按样本与铭牌整理，逐台以实物为准；区间为常见工况，非选型承诺。中真空段的增压机型可参照罗茨泵栏目核对配套关系。
福建各产业带的差别也落在段位上：厦门、泉州的镀膜与半导体产线常往 10⁻⁴ Pa 以下走，漳州、莆田的包装与制鞋产线多停在粗中真空段，三明、南平、龙岩的化工与冶金工况更看前级耐不耐水气。同样是读数掉下来，前一类需查分子泵与前级交界，后两类先查滤芯和油。
本公司承接真空泵与分子泵的销售、维修、保养和备件，单泵与成套机组均可配可修，服务范围覆盖厦门、泉州、漳州、福州、莆田、龙岩、三明、南平、宁德，外省可安排到场。
结论：真空度上不去的机组，先按段位定位，再定件、定机。能修的按段位换件并做连续运行验证，修不回或确需扩容的按段位重新配机组，不照原型号再配一台。把泵铭牌、真空计型号与前级出口数值一并记录，比只报一句真空度上不去更容易定方案。
